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處理含氟廢水的方法和設(shè)備主要取決于廢水中氟化物的濃度和其他成分的特性。目前，常見(jiàn)含氟廢水的處理方法包括：活性炭吸附、離子交換、反滲透、氟化鎂沉淀法、生物處理和氧化法等。其中，氧化法利用氧化劑（如臭氧、雙氧水等）可以將廢水中的氟化物氧化成無(wú)害的離子，對(duì)于有機(jī)氟廢水的處理效果較好。光芬頓作為高級(jí)氧化技術(shù)的一種，是將光（UV）引入芬頓反應(yīng)，構(gòu)建光助芬頓體系。光芬頓技術(shù)有效克服了傳統(tǒng)芬頓反應(yīng)Fe3+和Fe2+循環(huán)速率慢、易產(chǎn)生鐵泥等不足。同時(shí)，加速了傳統(tǒng)芬頓的反應(yīng)效率，提高了有機(jī)氟的礦化程度，有效節(jié)約了運(yùn)營(yíng)成本。目前UV-Fenton是光芬頓體系中較為成熟且高效的方法，其一方面可以利用紫外線的作用加速有機(jī)物的降解，另一方面促進(jìn)了芬頓反應(yīng)的進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)了氟氧化物的有效去除。
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